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  1. 產品詳情
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    • 產品名稱:反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區域銷售

    • 產品型號:EC- 5000
    • 產品廠商:HORIBA掘場
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    簡單介紹:
    反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區域銷售、 反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列四川成都重慶西崎商社區域銷售
    詳情介紹:

    反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

    • 概要
    • 規格

    概要

    EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成,此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和獨特的蝶形閥設計確保了本產品的高速、高分辨度響應。

    特征

    •  適合高真空環境使用:不銹鋼質本體
    • 抗腐蝕

       

    • 使用PTFE(聚四氟乙烯)制作的本體也可以提供

       

    • 適合對于腐蝕性氣體的使用

       

    •  

    當排氣端流量被調整到*佳的位置:

    • 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的

       

    • 阻止了噴霧的次級沉積

       

    • 阻止了危險水蒸氣的擴散

      此外,與流量傳感器控制方式相比較而言,因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產品造成的影響更小

      此產品屬于受日本法律管制的出口品(列于控制清單之上)。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業前,必需從日本經濟產業省的相關部門獲得出口許可證件。

    制造: HORIBA STEC

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    粵公網安備 51012402000291號

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